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PRODUCTS CENTER當前位置:首頁產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料表面處理設(shè)備實驗室等離子清洗機PT1000A大氣低溫等離子清洗機
產(chǎn)品型號:PT1000A
更新時間:2024-06-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪 問 量 :4928
18811199509
產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION特點:
1、與連續(xù)生產(chǎn)線結(jié)合,可以連續(xù)操作
2、使用價格低廉的CDA或N2
應(yīng)用范圍:
1、LCD面板電極表面有機污染物的清潔
2、軟性電路板電極表面有機污染物的清潔
3、BGA電路板電極表面有機污染物的清潔
4、LED電極表面有機污染物的
設(shè)備規(guī)格
2-1、設(shè)備規(guī)格
NO | 項目 | 規(guī)格 | 備注 |
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| 電漿控制電源部規(guī)格 |
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1 | 尺寸(WxDxH) | 370mm×450mm×150mm | 詳細規(guī)格參附件 |
2 | 重量 | 13kg |
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3 | 需求電源 | AC220V,50-60Hz,3wire單相+接地線、10A | 地線<0.5 |
4 | 電漿輸出功率 | CDA:600--1000W | 可使用功率視實際條件而定 |
5 | 電漿有效直徑 | 30-50mm | 視條件及樣品而定 |
6 | 工作進氣接頭 | 6×8mm Connector | 連接至主氣源 |
7 | 氣體使用量 | CDA:26±2L/min | 視條件及樣品而定 |
8 | 氣體壓力 | 4.20±0./kg/cm |
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9 | 配置空間 | 放置在通風(fēng)良好(環(huán)境溫度小于30度)的地方。保留左右及上方有150mm以上散熱的空間,保留后方有150mm的線路空間 |
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電漿照射部規(guī)格 | |||
1 | 尺寸(H) | 33mm×215mm | 詳細規(guī)格參附件 |
2 | 重量 | <0.3kg |
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3 | 電源部-照射部距離 | 2.6m |
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其他規(guī)格 | |||
1 | 有效清潔范圍 | 75mm | 視條件及樣品而定 |
2 | 處理速度 | 50-300mm/sec | 視樣品而定 |
3 | 處理距離 | 與待清潔物距離4m |
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2-2、廠務(wù)規(guī)格
NO | 項目 | 規(guī)格 | 備注 |
1 | 電漿需求電源 | AC220v,50-60Hz,3Wire單相+接地線,10A | 地線<0.5歐姆 |
2 | N2/ CDA | 純度:99.95%. 壓力:4.20±0../kg/cm 流量:20±2L/min 入口 PU 管管徑:6mm×4mm 氣體含油量:<0.003ppm 氣體含水量:露點<-23°C |
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3 | 排氣 (抽氣罩客戶自行準備) | 需在電漿噴射下方及周圍設(shè)置抽風(fēng)罩 一般廠務(wù)排氣,大氣排放排氣量1000L/min | 電漿可能產(chǎn)生臭氧、NOx.、CO2等廢氣,請作好廢氣排放,避免人員暴露于廢氣環(huán)境中 |
4 | 避免干擾問題 |
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2-3、一般規(guī)格
NO | 項目 | 規(guī)格 | 備注 |
1 | 警報 | 警示信號輸出 | 選配 |
2 | 危險標示 | 高壓危險標示 |
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3 | 使用環(huán)境 | 室溫: 15~30°C 濕度:30%~70% 不可有可燃性氣體,腐蝕性氣體,爆炸或反應(yīng)性粉塵 |
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設(shè)備耗材
NO | 項目 | 編號 | 使用時間 | 供貨商/備注 |
1 | 鍍鉑金銅電極 | PT1000T | CDA: 500hr | 南京嘉陽 |
2 | 噴嘴 | CDA:PT000P | CDA:1000hr | 南京嘉陽 |
注:1,未經(jīng)訓(xùn)練合格人員請勿做更換耗材的動作,2、更換耗材前請關(guān)閉電源20分鐘以上,并做好高壓電防護3、為確保清潔效率沒問題,在更換耗材后,請以面板進行測試。
報價內(nèi)容
項目 | NO | 內(nèi)容 |
電漿照射單元 | 1 | 1組電漿照射部(旋轉(zhuǎn)槍頭) |
| 2 | 1組電漿控制電源部 |
| 3 | 保固期服務(wù)費用 |
驗收
項目 | NO | 內(nèi)容 |
硬件驗收 | 1 | 設(shè)備清單驗收 |
| 2 | 出廠合格證 |
| 3 | 說明書 |
性能驗收 | 1 | 清潔后,素玻璃水滴接觸角<15°(@速度100mm/s,距離4)mm |
穩(wěn)定性測試 | 1 | 連續(xù)1小時電漿噴射測試 重復(fù)一次性能驗收 |
驗收日期 | 1 | 交機后1個月內(nèi)必須完成驗收 |
保養(yǎng)維護
項目 | 檢查內(nèi)容 |
| 檢查頻率 |
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清潔功能 | 1,目視電漿噴射狀況 2,ITO 玻璃試片測試 3、水滴角測試 |
| 日常
| 1次/月 | 其他 |
電極 | 是否破損 |
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石英管 | 是否破損 |
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氣體(鋼瓶)壓力 | 壓力指示是否正確 |
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七、貴單位配合工廠范圍及試片提供
項目 | 內(nèi)容 |
1,廠務(wù)工程 |
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2、試片提供 | 以上試片,貴單位需免費提供 |
八、試機及售后服務(wù)
8-1試機
安裝完成后,廠公司將協(xié)助進行式機測試
8-2試機項目
項目 | 說明 |
電漿穩(wěn)定性 | 有肉眼觀察電漿狀態(tài)。持續(xù)時間 |
組裝零件穩(wěn)定性 | 電漿經(jīng)過1小時操作后,觀察電極,石英管狀況 |
流量測試 | 測試氣體流量是否正常 |
洗潔能力測試 | 貴單位試片測試(試片由貴單位提供) |
8-3 提供書面數(shù)據(jù)
試機完成后,提供操作說明書 1 份:
(1) 內(nèi)容:安全規(guī)定、規(guī)格、各部位說明、安裝、操作說明、問題解決、維修保養(yǎng)、耗材編號、零件編號。
(2) 附件:規(guī)格圖、接線圖。
8-4 服務(wù)范圍
1、保質(zhì)12 個月,保質(zhì)期間內(nèi),在正常使用情況下無償更換損壞之零組件。
2、保質(zhì)期間內(nèi),耗材更換費用需由貴公司負擔。
3、但若操作在設(shè)備不能負荷范圍內(nèi),導(dǎo)致相關(guān)零組件損壞,敝公司不負賠償責(zé)任。
4、遇地震、火災(zāi)、臺風(fēng)、海嘯等不可抗拒災(zāi)害導(dǎo)致設(shè)備損壞,敝公司不負賠償責(zé)任。
5、非使用原廠零組件直接,間接造成設(shè)備損壞時,敝公司不負賠償責(zé)任。
6、若因設(shè)計不當,造成設(shè)備有損壞或瑕疵,敝公司將無償更換瑕疵或損壞之零組件。
7、保質(zhì)期后,貴單位需自行負責(zé)更換零組件所需的耗材及服務(wù)費
九、保證及責(zé)任范圍
項 目 | 內(nèi) 容 |
(1)生產(chǎn)保證 | 由于本裝置的不合適,生產(chǎn)停止的損失及不良品的損失, 敝公司不得保證。 |
(2)安全保證 | 維修及問題解決時,若需以手指觸碰機臺時,請先將電源 關(guān)閉 20 分鐘以上。使用中的安全問題,本公司不得保證。 |
(3)瑕疪責(zé)任 | 關(guān)于來自貴公司的指示, 施工方法等造成的裝置瑕疪不得 保證 |
(4)交機后改造責(zé)任 | 交機后,貴公司若有對構(gòu)造、性能、方式進行改變而產(chǎn)生 的問題,敝公司不得保證 |
(5)本體改造責(zé)任 | 交機后,貴公司對構(gòu)造、性能、方式改造時,敝公司得不 保證提供問題處理及消耗品供給之責(zé)任。 |
(6)因為經(jīng)年變化之責(zé)任 | 非瑕疪而產(chǎn)生材料的自然性損耗、變化、變色或因為經(jīng)年 累月而產(chǎn)生的裝置問題,得不保證。 |
(7)無法預(yù)測的環(huán)境變化責(zé) 任 | 在設(shè)備所設(shè)計允許的條件(溫度、濕度、氣壓、排氣等)以 外情況下使用或存放所引發(fā)的問題,得不保證。 |
(8) 規(guī)定以外的氣體使用之 責(zé)任 | 禁止使用規(guī)定以外的氣體,允許使用的氣體如下: CDA、N2 純度 99.95% 使用其他的氣體所引發(fā)的問題,得不保證。 |
十、機密保持
貴單位購買此設(shè)備,只能提供自行生產(chǎn)使用,不得將說明書內(nèi)所附設(shè)計圖面任意交付第 3 者參考
外部控制開關(guān)及遠程控制輸入端
本機提供了由外部(或遠程的)開關(guān)模式來控制本機的啟動和停 止動作。方便用戶使用本機與其它設(shè)備聯(lián)機時實現(xiàn)自動控制。
本機還設(shè)置了對外設(shè)的通訊接口,作為用戶選用遠程界面和遠程 控制使用(使用此功能,需參考本司提供之通訊協(xié)議)。
表4 外部控制端子的接線說明
端腳號 | 接線名稱 | 功能說明 | 備注 |
Pin 1 | +24V Output | 供外設(shè)預(yù)備電源。 Max 100mA. | 注意: 切要避免Pin 1與除接線圖指示之外的任何引線或接地體發(fā)生短路! |
Pin 2 | Ground | ||
Pin 3 | IN1-P | 外部開關(guān) P接正極性;N接負極性 | 接線方法,參考下列接線示意圖。 |
Pin 4 | IN1-N | ||
Pin 5 | RS485-A | RS485通訊線。 | 暫不提供 |
外部開關(guān)的接線方法,客戶可根據(jù)具體情況采用如下示意的兩種 方式其中之一。
連線方式(一):
利用本機提供的輔助電源。外部設(shè)備只需提供接觸式的“通"和“斷"兩種狀態(tài)。 需要注意的是,此兩條線及外設(shè)的開關(guān),必須避免與其它任何電路連接。否則,可能造成本設(shè)備誤動作或者損害!
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